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气密性测试机


设备特性

●性能稳定,误杀率0%,过杀率0.5%
●具有循环检功能,可判断出泄露工件
●可按工艺要求设定漏率、检测时间、检测压力、报警值等操作参数
●自动清氦功能,快速有效地消除箱体内和管道上的残余氦气,残余氦气的回收不能污染车间环境


基本参数

● 单机产能:≥12PPM    ● 一次优率:≥99.5%    ● 抽真空时间:≤20s                      ● 氦检时间:≤5s    ● 最小可检漏率:≤10-12Pa·m3/s    ● 漏率显示范围:≥1.0×10-12Pa·m3/s-1.0×10-3Pa·m3/s    ● 检测腔体密封性:≤50Pa/min


标准配置

● 机械手自动上下料机构    ● 真空箱式氦质谱气密性检测    ● NG缓存及复检功能


可选配置

● 气体浓度


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